半導体FOUP搬送自動化物流システム
半導体FOUP搬送自動化物流システム
FOUPのフロア間における安全かつ高効率な垂直搬送。Load Portとの組み合わせにより、FOUPが正確に指定位置に到着することを保証します。
製品説明
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半導体FOUP搬送自動化物流システム |